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ロボット、ペースメーカーなどのカスタムセンサを3Dプリンティング

October, 4, 2022, Stockholm--新開発の3Dプリンティング技術を使って、昆虫サイズのカスタマイズ電子「マシーン」をコスト効果よく製造できる。これは、ロボット工学、医療デバイスなど、進んだアプリケーションを可能にする。

そのブレイクスルーは、チップベーズMEMSにとって潜在的なゲームチェンジャーと見なせる。このミニマシーンは、スマートフォンや自動車など、数百の電子製品向けに大規模製造される。そこでは、正確な位置決めを行う。しかし、航空機の加速度計や個別マシーンの振動センサなど、少量でより特殊なセンサの製造では、MEMS技術は、高価なカスタマイズを必要とする。

KTH Royal Institute of Technologyの研究リーダー、Frank NiklausによるとNature Microsystems & Nanoengineeringに発表された新しい3Dプリンティング技術は、従来のMEMS製造の制約を回避する方法を提供する。

「製造プロセス開発、デバイス設計最適化のコストは、少量製造にスケールダウンしない」(Niklaus)。結果は、準最適市販のMEMSデバイスか、経済的に成り立たないスタートアップコストの選択に技術者が直面することになる。

その技術の恩恵を受ける他の少量製品に含まれるのは、ロボットや産業機械、ウインドタービン向けの運動および振動制御ユニット。

プリンタで「ステンシル」を作る
研究チームは、2光子重合化というプロセスに立脚している。これは、サイズ数百ナノメートル(nm)の物体を高分解能で製造できる、しかしセンシング機能はない。変換素子を形成するために、その方法は、シャドウマスキングという技術を利用する、これはステンシルように機能するものである。3Dプリントされた構造でチームは、傘のように機能にするT-形状横断面を備えた形体を製造する。次に、その上から金属を堆積する、結果は、サイドに金属被覆がないT-形状の物体。つまり、Tの上面の金属が、その構造の残りから分離されている。

この方法により、比較的安価な商用製造機械を使ってカスタム設計のMEMS加速器を10個程度製造する時間はわずか数時間である、と同氏は話している。その方法は、MEMSデバイスのプロトタイピング、年に数万バッチの小サイズおよび中サイズから数万のMEMSセンサを経済的に成り立つ方法で製造することができる。

スタートアップコスト削減
「これは、これまではできなかったものである。従来の半導体技術を使ってMEMS製品を製造するスタートアップコストは数十万ドルのオーダーであり、リードタイムは数ヶ月かそれ以上だったからだ。3DプリントされたMEMSによる新機能は、MEMSやセンサ製造における新しいパラダイムとなる」と同氏は話している。

「安定性は、MEMS製造における単なる利点ではなく、それは必須である。この方法は、多くの種類の新しいカスタマイズデバイスの製造を可能にする」。

(詳細は、https://www.kth.se)